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半導體製造裝置領域

在半導體製程中,極微小粒子或濕度變化都可能嚴重影響良率。NABELL 防護罩兼具防塵、防水、耐化學與密封性能,滿足嚴苛潔淨室需求,亦可適用純水清洗製程,確保設備長時間穩定運轉。近年亦拓展至太陽能電池面板等相似製程。

關鍵需求功能

  • 防水
  • 密封
  • 耐油
  • 耐化學
  • 耐冷卻液
  • 高速追隨
  • 低反彈
  • 低產塵
半導體裝置產品示意圖
CMP 用蛇腹
CMP 用
Water Defencer 附蛇腹示意圖
Water Defencer 內建蛇腹(製法專利) 2009 超級製造零件大獎奨勵賞 有效阻隔水霧滲入,適用於 Dicer 等設備

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